單軸壓電陶瓷馬達驅動精密平臺 MT105
產品簡介
單軸壓電陶瓷馬達驅動精密平臺 壓電陶瓷馬達驅動，精度高，可組合使用，可適用于真空無磁的環境。適用于學校、研究所等科研單位。
產品詳細信息
單軸壓電陶瓷馬達驅動精密平臺 MT105-LM 規格指標：
單軸壓電陶瓷馬達驅動精密平臺 MT105-LM 控制部件：
|
KDT105-LM |
|
MT105-30-LM |
MT105-50-LM |
|
應用 |
|
精密平臺 |
精密平臺 |
|
行程 |
[mm] |
30 |
50 |
|
重現性 |
[µm] |
+/- 2 |
+/- 2 |
|
垂直度/平面度（全行程） |
[µm] |
+/- 1 |
+/- 1 |
|
分辨率 |
[µm] |
0.1、0.05、0.02 |
0.1、0.05、0.02 |
|
*大速度 |
[mm/s] |
200 |
200 |
|
*大加速度 |
[m/s2] |
10 |
10 |
|
負載 Fx |
[N] |
10 |
10 |
|
負載 Fy |
[N] |
10 |
10 |
|
負載 Fz |
[N] |
50 |
50 |
|
扭矩負載 Mx |
[Nm] |
1 |
2 |
|
扭矩負載 My |
[Nm] |
1 |
1 |
|
扭矩負載 Mz |
[Nm] |
0.5 |
0.5 |
|
精度 |
[µm] |
1 |
1 |
|
重量 |
[kg] |
1.1 |
1 |
單軸壓電陶瓷馬達驅動精密平臺 MT105-LM 控制部件：
控制軟件（可以根據客戶要求定制）
控制箱
控制器：Galil DMC-2143-DC24 四軸 Ethernet總線 專用控制器。
驅動器：Nanomotion AB1A-2a-HR-E4 壓電陶瓷馬達驅動器。
電機：Nanomotion HR4-1-S-3 壓電陶瓷馬達。
光柵尺：RSF MS14系列開放式光柵尺。
控制箱
控制器：Galil DMC-2143-DC24 四軸 Ethernet總線 專用控制器。
驅動器：Nanomotion AB1A-2a-HR-E4 壓電陶瓷馬達驅動器。
電機：Nanomotion HR4-1-S-3 壓電陶瓷馬達。
光柵尺：RSF MS14系列開放式光柵尺。
單軸壓電陶瓷馬達驅動精密平臺 MT105-LM 機械尺寸：
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